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OP-PAI系列真蜂窩氣浮隔振光學平臺 ? 水平方式：自動充氣，自動平衡 ? 固有頻率：1～1.5Hz ? 重復定位精度：±0.10mm ? 臺面材料：SUS430高導磁不銹鋼 ? 臺面內部結構：隔離杯真蜂窩內芯 ? 臺面厚度：100/200/250mm ? 平面度：0.1mm/600mm×600mm ? 臺面粗糙度：≤0.8μm
OP-AI系列氣浮隔振光學平臺 ? 固有頻率：＜1.2～2Hz ? 重復定位精度：±0.10mm ? 臺面材料：SUS430高導磁不銹鋼 ? 臺面厚度：100/200/250mm ? 平面度：≤0.05mm/m2 ? 臺面粗糙度：≤0.8μm，局部可達0.4μm ? 氣浮支架：雙層氣室，3個真空管水平調節閥，四或六支撐腿 ? 臺面加支架總高度800mm，總高度可調范圍：-20～+20
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